【据欧盟清洁航空网站2022年4月25日报道】高性能惯性MEMS陀螺仪制造工艺项目（MUPIA）开发了基于硅晶圆的微机电系统（MEMS）陀螺仪的制造工艺。与上一代工艺相比，该种新工艺将使生产非常小和轻的惯性测量单元（IMU）成为可能，可显著降低重量（0.5千克至2千克）和功耗（1W至5W），从而为飞机节省能源。
MUPIA项目优化了制造过程的每个步骤，以达到所需的性能规格，包括开发和优化高分辨率特征的制造工艺、用于测量这些特征的图像半自主分析以及获得高性能所需真空质量的封装解决方案。
针对真空质量挑战，项目对两种传感器的变体进行了试验——MOD（MUPIA 开放式设计）和 COD（MUPIA 封闭式设计）。对于封装级真空密封的 MOD，主要的挑战之一是如何处理MEMS制造后的设备，因为任何留在表面的灰尘或颗粒都会使传感器失效。这一问题通过涂覆一层保护膜得以成功解决，该保护膜可以通过紫外线辐射和加热去除，在设备上不留任何残留物。对于COD，通过在晶圆键合下在晶圆级提供真空，能够允许一个晶圆上的200个单元同时获得相同的高质量真空。
成本效率也是MUPIA的关注点，项目成功展示了该传感器元件及其封装在可持续价值链中的成本效益制造工艺。MUPIA还揭示了电力机翼系统领域传感器的创新，改进的传感器和执行器预计将使用更广泛的新技术。创新的机翼系统和更广泛的状态监测将降低维护成本并提高安全性，同时有助于降低油耗。
该项目由挪威工业技术研究所（SINTEF AS）和微软公司（Micross Ltd）联合实施，总预算133万欧元，向欧盟申请的经费为124万欧元。heavy fuel engine
